Sinton バルクシリコン特性評価 BCT-400

アズグロウンまたはシェイプドシリコン上の真のバルクライフタイムを非接触で簡単かつ正確に測定。SEMI規格PV-13に準拠。

BLS-Iは、インゴットの曲率に適合する衝撃吸収性の開閉パッドにより、成長途中のインゴットや成形されたインゴットのどの表面でも測定が可能です。

主な用途

-1～10数ミリ秒の寿命を持つ高純度シリコンの認定

-特別な表面処理なしで、成長したままのB-Czシリコンを認定する。

多結晶ブロックの寿命とトラップ密度の特性評価

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