インライン・ウェハー・ライフタイム・テスト IL-800

妥協のない高速インラインテスト。オフラインツールと最適化された産業用ソフトウェアパッケージの包括的な精度で、ウェーハライフタイム、シート抵抗、トラッピングを監視します。

主な用途

プロセスの主要な段階で製品ウェハーの測定を行い、生産ラインを段階的にモニタリングし、最適化します。

その他の用途

-受入ウェーハの品質監視（ライフタイム、シート抵抗、トラッピング）

-リン拡散品質のモニタリング

プロセス中の水、化学薬品、炉、ウェハーハンドリングによるウェハー汚染を早期に検出。

窒化物析出から最適な表面不動態化品質を維持する

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