ノヴァスキャン PSD-UV - 卓上型UVオゾンクリーナー

説明

デジタル制御のPSDスタンダードとPSDPプロシリーズは、電子、半導体、光学、科学産業のアプリケーション用に設計されています。水銀ランプが紫外線とオゾンを発生させ、シリコン、窒化シリコン、ガラス、金属、セラミック、その他の材料を原子レベルで洗浄します。PSDとPSDPは、UV硬化、UVパターニング、AFMプローブのシャープニング、オゾンエッチングなどにも使用できます。

PSPD Proシリーズ計器は、さらなるデジタル制御を提供し、PID加熱ステージシステムにアップグレードすることができます。PSD標準計器は、便利で使いやすいデジタルプリセットコントロールをコスト効率の良いパッケージで提供します。

PSDスタンダードシステムとPSDPプロシステムは、AFMチップや顕微鏡スライドに最適な4×4″UVシステムから、複数のウェハーやLCDパネルに対応可能な12×16″の大型UVシステムまで、幅広いサイズを取り揃えています。

UVクリーナーのモデル、サンプルサイズ、システム価格については、このページ下部の「お問い合わせ」欄にご記入ください。

特徴

• PSDとPSDPは有機汚染物質を除去する
• UVランプは185nmと254nmの両方のUV光を発生する
• Oを生産する₃ 分子励起を提供する
• 大気圧下、大気または酸素で動作
• ガス導入用の複数のガスポート
• 試料とランプの距離を調整できる試料ステージ
• ユーザーが紫外線にさらされるのを防ぐ安全スイッチ
• 簡単な操作とコンパクトな設置面積
• 一流のテクニカル・サポートとカスタマーサービス

適切な基板材料

• シリコン
• ガリウム・アレセニド
• ガラス
• クォーツ
• マイカ
• サファイア
• 金属
• セラミックス
• ポリマー
• 抵抗

一般的なUV/オゾン用途

• AFMプローブ洗浄/先端研磨
• 半導体表面の酸化と処理
• レンズと光学部品のクリーニング
• 表面濡れ性の改善
• 石英とセラミック表面のクリーニング
• 薄膜蒸着準備
• 紫外線硬化
• 表面パターニング
• オゾン・エッチング

 

 

 

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