OMEGA FMA5400A/5500A 経済的なガス品質コントローラ

説明

FMA5400A/5500Aシリーズ電子式ガス質量流量計は、最大100SLMまでの各種ガスの流量を0～10SCCMの範囲で制御することができます。FMA5400A/5500Aはガス流量を測定するためにヒーティングチューブを介した熱伝達を利用し、ガス温度や圧力（規定範囲内）の補正を必要とせずに直接ガス質量流量を測定します。本製品は、通常のガス流量の測定に適した経済的なアルミニウム/銅構造を提供することができ、また、より高い耐食性が要求されるアプリケーションに適した316ステンレス鋼構造を提供することもできます。表示スクリーンを内蔵しないFMA5400Aシリーズ流量計は、遠隔監視用に0～5Vdcと4～20mAのアナログ出力を備えています。FMA5500Aシリーズ流量計は、3-1/2ビットのデジタル表示スクリーンとアナログ出力を内蔵しています。FMA5500Aシリーズは、3-1/2ビットのデジタル表示スクリーンとアナログ出力を一体化した流量計です。表示スクリーンは、測定値を見やすくするために90度傾けることができます。表示画面はSCCMまたはSLM単位で窒素流量を直接表示するように校正されています（特別注文により他のガス校正も可能です）。

FMA5400A/5500Aマスフローコントローラは、ノーマルクローズのソレノイドバルブを内蔵しており、入口または出口圧力の変化に関係なく一定の流量を維持することができます。設定値は、ポテンショメータ（ハウジングのアクセス・ウィンドウからアクセス可能）を通してローカルに制御することも、0-5 Vdcまたは4-20 mAのアナログ信号（オンサイト・オプション）を通してリモートから制御することもできます。FMA5400A/5500Aシリーズは12~26Vdc電源（最大電流800mA）を必要とし、FMA545PW壁プラグインソケット電源はその要件を満たすことができます。12~15Vdc電源@最大800mA（仕様43、44、45のみ）。付属品モデルFMA545C（別売）には、アナログ出力信号および電源入力接続にアクセスするための8フィートのシールドケーブル付き15ピン"" D "" タイプコネクタが付属しています。FMA5500AシリーズにはLCDが搭載されており、通信プラグを介して下記の電子機器と接続します。FMA18RCリモートケーブルコンポーネントを購入することで、リモートでLCDを設置することができます。その後、LCDのパネル設置のために、お客様自身で部品を組み立てる必要があります。

OMEGA FMA シリーズ マスフローメータ

製品仕様

精度：フルスケールが100SLM±1% FS未満のデバイスの場合、15-25 ° C（59-77 ° F）と

0.7~4.2 kg/cm ² (10~60 psia)での直線性。デバイス≥100 SLMの場合、フルスケール：±1.5% FS at 15-25 ° C (59-77 ° F)、0.7-4.2 kg/cm ² (10~60 psia)で20-100%の範囲内の直線性、±3% FS at 0-20%の範囲内。

繰り返し精度：±0.5%フルスケール

温度係数：0.15% FS/° C

圧力係数：0.01% FS/psi（0.07バール）

最大圧力損失：50 psid

応答時間：25%~100% FSの範囲内、5秒以内に設定流量の±2%以内

最大空気圧：ゲージ圧70 kg/cm2（1000 psig）（最大100 SLMの装置に最適）、ゲージ圧35 kg/cm2（500 psig）、最適1.76 kg/cm（25 psig）

ガスと周囲温度5-50 ° C（41-122 ° F）

漏れ率：外部への最大漏洩率は1×10-7cc/sec ヘリウムガス

液体受入材料：

アルミニウム流量計：陽極酸化アルミニウム、316SS、真鍮、FKM Oリング

ステンレスモデル：316 SSとFKM Oリング

出力信号：

リニア0～5Vdc：最小負荷1000Ω

4-20 mA：ループ抵抗50～500Ω、最大ノイズ±20 mV

センサー電源12-26 Vdc @ 800 mA 標準レンジ比：40:1

配送重量：1.8 kg

コンプライアンスEN55011クラス1、クラスB、EN50082-1

高度感度：水平流路、20°への傾き、校正は逸脱しない

ガス相対湿度: 0-70% RH

最小圧力降下

バイヤー通知

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