ATOVAC強化対流ゲージ EG301

説明

EG301 強化対流ゲーグ

一般的に真空チャンバー内に設置され、真空チャンバー内の実際の圧力を読み取るゲージで、+24VDC（15VDCも可能）の電源を必要とする。

EG301 Enhanced Convection Gaugeは、3～10 VDCの信号出力で、半導体プロセスや真空装置で使用されます。

特長と利点

幅広い圧力測定が可能（2.0×10-4～760Torr）。

高い精度とフロアスペース効率の向上

アナログ出力を装備し、PLCなどに直接接続して表示可能。

7セグメントLEDの採用により、遠くからでも読み取りが可能。

PCはRS-485で制御可能。

外部機器やプロセスで使用するために、2つのセットポイントが用意されている。

安価に修理できる（センサーワイヤーの交換）。

コントローラーを必要とせず、単独で使用可能。

仕様

フィジカル
入力電力	+DC24V (DC15V 가능)
出力	DC+3V～DC10V
動作温度	0 ~ 50°c
圧力範囲	2.0 X 10-4 ~ 760トール
表示ウィンドウ	7セグメントLED
ディスプレイユニット	トーア
取り付け位置	ホリゾンタル
フィラメント	プラチナ 99.999 %
フランジ	NW16 ISO-KF、NW25 ISO-KF、1/4 VCRメス、CFフランジ
インターフェース	アナログ出力、RS-485、2セットポイント

 

 

 

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