Extorr XTシリーズ残留ガス分析計

ブランドエクストール
モデル：XTシリーズ
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説明

について XTシリーズ 残留ガス分析計 (ExtorrのRGA）は、卓越した性能と価値を提供します。これらのRGAは、他のどの競合装置よりも詳細な真空ガス分析を提供します。各システムには ピラニゲージとイオンゲージを内蔵したマルチゲージド四重極プローブ制御・通信ユニット（CCU）、リアルタイムWindowsソフトウェアパッケージ。

特徴

  • ピラニおよびイオンゲージ一体型残留ガス分析計 100、200、300 amuシステム
  • オプションの電子増倍管付きファラデー検出器
  • 現場で交換可能なデュアル・ソリゲート・イリジウム・フィラメント
  • 10%ピークハイトで0.5amuより優れた分解能
  • 1回のスキャンで9桁のダイナミックレンジを実現
  • マススペクトル、リーク検知、圧力対時間モード

アプリケーション

  • リークテスト
  • プロセス監視
  • パンプダウンとベークアウトのモニタリング
  • 真空診断
  • ガスと汚染物質の識別

仕様

仕様 価値
質量範囲
XT100 1-100 amu ファラデーカップ（FC）
XT200 1-200 amu ファラデーカップ（FC）
XT300 1-300 amu ファラデーカップ（FC）
XT100M 1-100amuファラデーカップ(FC)と電子増倍管(EM)
XT200M 1～200amuファラデーカップ（FC）と電子増倍管（EM）
XT300M 1-300amuファラデーカップ（FC）と電子増倍管（EM）
マスフィルター式
四重極
検出器タイプ
ファラデーカップ（FC）、標準 電子増倍管（EM）、オプション
決議
10%のピーク高さで0.5amuより良好。質量範囲全体で一定のピーク幅に調整可能。
感度（A/Torr）
6 x 10-4 (FC）。N2@28amuで測定、ピーク幅1amu、高さ10%、電子エネルギー70eV、イオンエネルギー6eV、電子放出量2mA。
最小検出分圧
検出器タイプ 住む 最小検出分圧（Torr）
ファラデーカップ 200ミリ秒 2.4 x 10-12 *
7.2 x 10-12 **
ファラデーカップ 5秒 5 x 10-13 *
1.5 x 10-12 **
電子増倍管 200ミリ秒 1 x 10-14 *
3 x 10-14 **
電子増倍管 5秒 2 x 10-15 *
6 x 10-15 **

* ベースラインノイズの1標準偏差を窒素に対する感度で割った値。
** ベースラインノイズの3標準偏差を窒素に対する感度で割った値。
ピラニゲージの動作範囲
10-3 トーアからATMへ
イオンゲージの動作範囲
5×10以下-3 トーア
分圧動作範囲
10以下-4 トーア
動作温度
50 °C 電子機器、100 °C プローブ
ベークアウト温度
300 °C (プローブのみ、CCUは取り外し)
全圧測定
2 x 10-10 トーアからATMへ
プローブ材料
SS304、コバール、タングステン、アルミナ、イリジウム、銅、ニッケル、トリア、プラチナ
イオナイザー・デザイン
オープンイオンソース、電子衝撃イオン化
フィラメント
ファームウェア保護機能付きデュアル・ソリア・コーティング・イリジウム。1～30Wの脱ガスランプアップ内蔵。フィールド交換可能。
電子エネルギー
11～150eV、プログラマブル
イオンエネルギー
1～12eV、プログラマブル
フォーカス電圧
0～150V、プログラマブル
電子放出電流
0.1～4mA、プログラマブル
プローブ寸法
6.8″フランジ面からイオナイザーの上部へ
プローブ取り付けフランジ
2.75″CF
最小チューブ内径
1.375″
CCUの寸法
3.3″×4.8″×7.4″ベークアウト用にプローブから簡単に分離可能。
CCUエクステンション
フランジ面から "6.2" 取付金具付き。
ウォームアップ時間
30分後の質量安定性±0.1amu。
最小PC要件
Windows 2000、XP、7、8、10、11が動作し、1024 x 768以上のグラフィックス、キーボード、マウス、未使用のUSBまたはRS- 232Cポート1個を備えたPC。
ソフトウェア
WindowsベースのVacuumPlusアプリケーションを同梱。
電力要件
24VDC@2.5アンペア。120/240 VACアダプター付属。
重量
9ポンド。プローブとCCUの合計。

 

 

 

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