ATOVAC バキュームゲージコントローラ GVC2200

説明

GVC2200 バキュームゲージコントローラ

モデルGVC2200熱陰極真空計コントローラーは、熱陰極電離、対流ゲージ、キャパシタンスマノメーターの技術を組み合わせ、超高真空から大気圧まで測定できます。

1つのイオン化ゲージを順次使用し、2つの対流ゲージを同時に使用することで、システムまたはプロセス内の最大4箇所の圧力測定が可能です。

また、最大6つのプロセス制御セットポイントを独立して調整することができる。これにより、プロセス関連機能の自動化が可能になります。

特長と利点

コンパクトサイズ、コントロールパネルの省スペース化

最大4チャンネルまで使用可能

128*64ドットのグラフィックLCDからすべてのデータを簡単に読み取ることができます。

圧力関連のプロセスまたはシステム機能を制御する6つのセットポイント

電位差計保護機能（1×10-3Torr以上で自動OFF）

ドーガ時間制御

ステータスウインドウで状態を表示（SP、IGのON/OFFなど）。

ゼロとATMのデジタル校正

仕様

 

フィジカル
幅	241 mm - ハーフラック取り付け耳
高さ	88 mm - 2Uラック
深さ	250mm（コネクタスペース含まず）
電気
入力電力	195〜240VAC @50/60 Hz、105VA（最大）
ヒューズ定格	250 VAC @3 A
測定範囲 (N2/空気用)	対流計：1000T ~ 8.0 x 10-4 Torr イオン化計：1.0×10-4～1.0×10-9 Torr
ディスプレイ	128×64ドットグラフィックLCD
イオンゲージの感度	工場出荷時設定：10/Torr
エミッション電流	0.1mA、1mA、10mA調整可能 (初期設定：1mA）
コレクターの可能性	Oボルト
グリッド・ポテンシャル	DC +180 V
カソード電位	DC +30 V
ドガ	I2 R : 10VAC 5アンペア（最大）
エレクトリカル
セットポイント・リレー接点	6 独立設定、SPDT接点 (0.5アンペア@125 VAC）
設定範囲	対流 : 1000~1.0 x 10-3 Torr イオン濃度計：1.0×1.0-3～1.0×10-9Torr
圧力電圧出力	2つのCG'Sと1つのIGに対して0〜10 VDC キャパシタンスマノメーター用 0 ~ 10 VDC。
シリアル・インターフェース	RS232C

 

 

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