シントン・ライフタイム・ミアミューズメント WCT-120PL

WCT-120PLウエハ・ライフタイム測定ツールは、WCT-120と同じユニークな測定・分析技術に、PL（フォトルミネッセンス）検出器の機能を追加し、被測定試料のPLライフタイムとドーピングを測定します。準定常フォトコンダクタンス（QSSPC）ライフタイム測定法と過渡フォトコンダクタンス減衰（PCD）ライフタイム測定法の両方が、校正されたPLライフタイム測定で補完されます。このツールは、標準的なWCT-120としても簡単に使用できます。

主な用途

PL測定と並行してQSSPCまたは過渡寿命測定を使用した製造プロセスのステップバイステップのモニタリングと最適化。

その他の用途

-初期素材の品質監視

-ウェハー処理中の重金属汚染の検出

-表面パッシベーションとエミッタ・ドーパント拡散の評価

-インプライド・ヴォック測定によるプロセス誘発シャントの評価

-QSSPLとQSSPCデータから基板ドーピングを反復計算

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