シントン・ライフタイム・ツール WCT-120

WCT-120は、QSSPCと過渡フォトコンダクタンス減衰技術の両方を利用し、10nsから10ms以上のウェハのライフタイムを測定します。QSSPC技術は、多結晶ウェハー、ドーパント拡散、低ライフタイムのサンプルのモニタリングに最適です。過渡光コンダクタンス減衰技術は、様々な処理工程における高ライフタイムサンプルのモニタリングに最適です。

WCT-120の寿命測定は、太陽電池プロセスの各段階におけるI-V曲線に匹敵する、暗黙の開放電圧（対照度）曲線も得ることができる。

主な用途

製造工程の段階的なモニタリングと最適化。

その他の用途

-初期素材の品質監視

-ウェハー処理中の重金属汚染の検出

-表面パッシベーションとエミッタ・ドーパント拡散の評価

-暗黙のI-V測定によるプロセス誘起シャントの評価

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