シントン寿命測定 WCT-120TS

WCT-120TS（温度ステージ）装置は、25℃から200℃までの温度範囲でシリコンウェーハのキャリア再結合ライフタイムを測定する機能を追加したWCT-120装置に見られるユニークな測定・分析技術を紹介します。この装置では、シントン・インスツルメンツ社が開発した準定常フォトコンダクタンス（QSSPC）ライフタイム測定法と過渡フォトコンダクタンス減衰法の両方を用いて、ウェハーのライフタイムを測定することができます。

主な用途

シリコンウェーハのキャリア再結合寿命の温度範囲での測定。

その他の用途

-初期素材の品質監視

-ウェハー処理中の重金属汚染の検出

-表面パッシベーションとエミッタ・ドーパント拡散の評価

-暗黙のI-V測定によるプロセス誘起シャントの評価

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