ノヴァスキャン PSDP-UVT - 卓上型UVクリーナー、加熱サンプルステージ付き

説明

PSDP-UVTプロシリーズは、PSDとPSDP UVシステムの利点に、PID制御の加熱サンプルステージの強化が加わり、熱アシストUV治療が可能になりました。PSDP-UVTサーマルアシストシステムは、サーマルエンハンストUVキュア、UVパターニング、ウェーハクリーニング、サーマルエンハンストフォトレジスト剥離、サーマルエンハンストPDMSボンディング、ファブリケーション、マイクロ流体、AFMプローブクリーニング、サーマルエンハンストオゾンエッチングなど、様々なアプリケーションに使用できます。PSDP-UVTシステムは、エレクトロニクス、半導体、光学、材料科学、生物学、化学、製薬、バイオセンサー、ナノテクノロジー産業で一般的に使用されています。

にサーマルアシストUVを追加した。 PSDP-UVTシリーズ 多くの用途で、洗浄、剥離、酸化、化学反応、触媒プロセスを強化する。

PSDP-UVT Proシステムのサイズは、AFMチップや顕微鏡スライドのような小さなサンプルに最適な4×4″UVシステムから、複数のウェハーやLCDパネルに対応可能な大型の12×16″UVシステムまで、幅広いラインナップがあります。特注でより大きなシステムも製作可能です。

UVクリーナーのモデル、サンプルサイズ、システム価格については、このページ下部の「お問い合わせ」欄にご記入ください。

特徴

• 熱アシストUV処理で洗浄力を強化、
  化学修飾、触媒反応、熱アニール、
  薄膜塗布、フォトレジスト剥離など
• デジタル制御のサーマルステージは200℃まで加熱可能
• UVランプは185nmと254nmの両方のUV光を発生する
• 大気圧下、大気または酸素で動作
• ガス導入用の複数のガスポート
• サンプルとランプの距離を調整可能
• ユーザーが紫外線にさらされるのを防ぐ安全スイッチ
• 簡単な操作とコンパクトな設置面積
• 一流のテクニカル・サポートとカスタマーサービス

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