描述
PSDP-UVT Pro 系列结合了 PSD 和 PSDP 紫外系统的优点,并增加了 PID 控制加热样品台,可进行热辅助紫外处理。PSDP-UVT 热辅助系统适用于多种应用,如热增强紫外线固化、紫外线图案化、晶片清洁、热增强光阻剥离、热增强 PDMS 粘合、制造和微流体、AFM 探针清洁、热增强臭氧蚀刻等。PSDP-UVT 系统常用于电子、半导体、光学、材料科学、生物、化学、制药、生物传感器和纳米技术行业。
将热辅助紫外线添加到 PSDP-UVT 系列 可增强许多应用中的清洁、剥离、氧化、化学反应和催化过程。
PSDP-UVT Pro 系统的尺寸范围从适用于 AFM 针尖和显微镜载玻片等较小样品的 4×4″ 紫外系统,到能够处理多个晶片或 LCD 面板的 12×16″ 大型紫外系统。更大的系统可根据客户要求定制。
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特点
- 热辅助紫外线处理可增强清洁效果、
化学改性、催化反应、热退火、
薄膜应用、光阻剥离等 - 数字控制热力阶段加热至 200 摄氏度
- 紫外灯可产生 185 纳米和 254 纳米的紫外光
- 在常压下使用环境空气或氧气运行
- 用于引入气体的多个气口
- 可调节样品到灯的距离
- 安全开关,防止用户接触紫外线
- 操作简单,占地面积小
- 一流的技术支持和客户服务
合适的基底材料
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常见的紫外线/臭氧应用
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