辛顿校准装置 WCT-120

WCT-120 的全套校准装置包括
 晶圆电导校准装置
o 四块均匀掺杂的单晶 p 型晶片
o 在辛顿仪器公司通过四点探针进行测量
o 跨越 WCT-120 仪器的测量范围（5 - 250Ω/sq）
 照明传感器校准晶片（稳定寿命参考晶片）
o n 型单晶硅片
稳定的使用寿命（保证 12 个月）

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