辛顿在线晶片寿命测试 IL-800

快速、无损的在线测试。利用离线工具和优化的工业软件包的全面准确性，监控晶圆寿命、薄片电阻和陷波。

主要应用：

在生产过程的关键阶段对产品晶片进行测量，逐步监控和优化生产线。

其他应用：

-监控入厂晶圆质量（ifetime、薄片电阻和陷波）

-监测磷扩散质量

一、在制程中及早检测来自水、化学品、熔炉或晶片处理的晶片污染

一、从氮化物沉积中保持最佳表面钝化质量

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