欧米茄 FMA5400A/5500A 经济型气体质量控制器

描述

FMA5400A/5500A 系列电子气体质量流量计可在 0 至 10 SCCM 范围内控制流量高达 100 SLM 的各种气体。FMA5400A/5500A 利用加热管的热传导来测量气体流量，提供直接的气体质量流量测量，无需对气体温度或压力进行补偿（在规定范围内）。该产品可提供经济的铝/铜结构，适用于测量普通气体流量，也可提供 316 不锈钢结构，适用于对耐腐蚀性要求较高的应用。无集成显示屏的 FMA5400A 系列流量计具有 0~-5Vdc 和 4~20 mA 模拟输出，用于远程监控；FMA5500A 系列流量计集成了 3-1/2 位数字显示屏和模拟输出。显示屏可倾斜 90 度，便于查看读数。显示屏经过校准，可直接显示以 SCCM 或 SLM 为单位的氮气流量（可通过专门订购获得其他气体校准）。

FMA5400A/5500A 质量流量控制器内置常闭电磁阀，无论入口或出口压力如何变化，都能保持恒定的流量。设定值可通过电位器（可通过外壳上的检修窗口进入）进行本地控制，或通过 0-5 Vdc 或 4-20 mA 模拟信号（现场可选）进行远程控制。FMA5400A/5500A 系列需要 12~26 伏直流电源（最大电流 800 毫安），FMA545PW 墙插式插座电源可满足其要求。12~15 伏直流电源 @ 最大电流 800 毫安（仅适用于规格 43、44 和 45）。附件型号 FMA545C（单独提供）配有一个匹配的 15 针 "" D "" 型连接器和一条 8 英尺屏蔽电缆，用于访问模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500A 系列配有 LCD，可通过通信插头与下面的电子设备连接。通过购买 FMA18RC 远程电缆组件，可以远程安装 LCD。之后，您必须自行组装部件，以便在面板上安装 LCD。

欧米茄 FMA 系列质量流量计

产品规格

精度：对于满刻度小于 100 SLM ± 1% FS 的设备，温度为 15-25 ° C (59-77 ° F) 且

0.7~4.2 kg/cm ² 线性（10~60 psia）。对于 ≥ 100 SLM 的设备，满刻度：在 15-25 ° C (59-77 ° F) 和 0.7-4.2 kg/cm ² 线性范围内（10-60 psia）为 ± 1.5% FS；在 0-20% 范围内为 ± 3% FS。

重复性：± 0.5% 全量程

温度系数：0.15% FS/°C

压力系数：0.01% FS 每磅/平方英寸（0.07 巴）

最大压降： 50 psid

响应时间：25%~100% FS 范围内，5 秒内流量在设定值的 ± 2% 范围内

最大气压：70 kg/cm2 表压（1000 psig）（适用于最大 100 SLM 的设备）；35 kg/cm2 表压（500 psig）；最佳 1.76 kg/cm (25 psig)

气体和环境温度：5-50 ° C (41-122 ° F)

泄漏率：向外部环境的最大泄漏率为 1 × 10-7 毫升/秒氦气

液体接收材料：

铝流量计：阳极氧化铝、316 SS、黄铜和 FKM O 型圈

不锈钢型号：316 SS 和 FKM O 形圈

输出信号

线性 0-5 伏直流：最小负载 1000 Ω

4-20 mA：50-500 Ω 回路电阻，± 20 mV 最大噪声

传感器电源：12-26 伏直流电压 @ 800 毫安 标准量程比：40:1

运输重量：1.8 千克（4 磅）

合规性：EN55011 1 类 B 级；EN50082-1

高度敏感性：水平流道，倾斜至 20°，校准不会出现偏差

气体相对湿度： 0-70% RH

最小压降

买家须知

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