埃克托尔 XT 系列残余气体分析仪

品牌埃克托尔
型号:XT 系列
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描述

"(《世界人权宣言》) XT 系列残余气体分析仪 (RGA) 具有卓越的性能和价值。这些 RGA 提供的真空气体分析比任何其他单一竞争设备都要详细。每个系统都配有 多测量四极探测器,包括内置皮拉尼计和离子计一个控制和通信单元(CCU),以及一个实时视窗软件包。

特点

  • 残余气体分析仪,集成皮拉尼和离子计 100、200 和 300 amu 系统
  • 带有可选电子倍增器的法拉第探测器
  • 可现场更换的双钍铱丝
  • 优于 0.5 amu 的分辨率 @ 10% 峰高
  • 单次扫描可达到 9 个数量级的动态范围
  • 质谱、泄漏检测和压力与时间对比模式

应用

  • 泄漏测试
  • 过程监控
  • 抽空和烘干监测
  • 真空诊断
  • 气体和污染物识别

规格

规格 价值
质量范围
XT100 1-100 amu 法拉第杯(FC)
XT200 1-200 amu 法拉第杯(FC)
XT300 1-300 amu 法拉第杯(FC)
XT100M 1-100 阿姆法拉第杯(FC)和电子倍增器(EM)
XT200M 1-200 阿姆法拉第杯(FC)和电子倍增器(EM)
XT300M 1-300 阿姆法拉第杯(FC)和电子倍增器(EM)
质量过滤器类型
四极杆

探测器类型
法拉第杯 (FC),标准电子倍增器 (EM),可选

决议
优于 0.5 amu @ 10% 峰高。可在整个质量范围内调节到恒定的峰宽。

灵敏度(A/Torr)
6 x 10-4 (FC)。用 N2 @ 28 amu 测量,全峰值宽度为 1 amu,高度为 10%,电子能量为 70eV,离子能量为 6eV,电子发射电流为 2mA。

最小检测分压
探测器类型 居住 最小可检测部分压力(托)
法拉第杯 200 毫秒 2.4 x 10-12 *
7.2 x 10-12 **
法拉第杯 5 秒钟 5 x 10-13 *
1.5 x 10-12 **
电子倍增器 200 毫秒 1 x 10-14 *
3 x 10-14 **
电子倍增器 5 秒钟 2 x 10-15 *
6 x 10-15 **

* 通过计算基线噪声的一个标准偏差除以氮灵敏度来测量。
** 通过计算基线噪声的三个标准偏差除以氮灵敏度得出。

皮拉尼规工作范围
10-3 托尔至自动取款机

离子计工作范围
低于 5 x 10-3 托尔

分压工作范围
低于 10-4 托尔

工作温度
50 °C 电子设备,100 °C 探头

烘烤温度
300 °C (仅探头,CCU 已移除)

总压力测量
2 x 10-10 托尔至自动取款机

探头材料
SS304、Kovar、钨、氧化铝、铱、铜、镍、钍、铂

电解槽设计
开放式离子源,电子撞击电离

灯丝
双钍涂层铱,具有固件保护功能。内置 1 至 30 瓦脱气升压器。可现场更换。

电子能量
11 至 150 eV,可编程

离子能量
1 至 12 eV,可编程

聚焦电压
0 至 150 V,可编程

电子发射电流
0.1 至 4 mA,可编程

探头尺寸
从法兰面到离子发生器顶部 6.8 英寸

探头安装法兰
2.75 英寸 CF

最小导管内径
1.375″

CCU 尺寸
3.3″ x 4.8″ x 7.4″ 易于与探头分离,以便烘烤。

CCU 扩展
距法兰面 6.2 英寸,带安装硬件。

热身时间
30 分钟后质量稳定性 ± 0.1 amu。

最低电脑要求
运行 Windows 2000、XP、7、8、10 或 11 操作系统的电脑,至少配有 1024 x 768 图形处理器、键盘、鼠标和 1 个未使用的 USB 或 RS- 232C 端口。

软件
包括基于 Windows 的 VacuumPlus 应用程序。

电源要求
24 VDC @ 2.5 Amps。随附 120/240 伏交流适配器。

重量
9 磅探头和 CCU 共计 9 磅。

 

 

 

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