杜尼威 MFC-MCE100 质量流量控制器

描述

质量流量控制器，符合 SEMI 标准，0-100 SCCM，显示屏，MKS 型 DB15 连接器，0-5 伏质量流量输出，0-5 伏设定值输入控制（可选串行和本地控制），RS-232 和显示屏输出绝对压力、质量流量、体积流量、温度和气体选择。 主气体选择设置为 N2，有 98 种可选择的气体和混合气体校准。 配有 1/4″ 焊接外螺纹 VCR 接头。 下游阀门配置。不包括电源。

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