Novascan PSD-UV - 台式紫外线臭氧清洗机

描述

PSD 标准和 PSDP Pro 系列数字控制仪器专为电子、半导体、光学和科学行业的应用而设计。汞蒸气灯产生紫外线和臭氧，对硅、氮化硅、玻璃、金属、陶瓷和其他材料进行原子清洗。PSD 和 PSDP 还可用于紫外线固化、紫外线图案化、锐化原子力显微镜探针、臭氧蚀刻等。

PSPD Pro 系列仪器提供额外的数字控制，并可升级为 PID 加热舞台系统。PSD 标准仪器提供方便易用的数字预设控制，是一款高性价比的产品。

PSD Standard 和 PSDP Pro 系统的尺寸范围很广，从适用于原子力显微镜针尖和显微镜载玻片的 4×4″ UV 系统到能够处理多个晶片或 LCD 面板的 12×16″ 大型 UV 系统。

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特点

• PSD 和 PSDP 可去除有机污染物
• 紫外灯可产生 185 纳米和 254 纳米的紫外光
• 产生 O₃ 并提供分子激发
• 在常压下使用环境空气或氧气运行
• 用于引入气体的多个气口
• 可调节样品到灯距离的样品台
• 安全开关，防止用户接触紫外线
• 操作简单，占地面积小
• 一流的技术支持和客户服务

合适的基底材料

• 硅
• 砷化镓
• 玻璃
• 石英
• 云母
• 蓝宝石
• 金属
• 陶瓷
• 聚合物
• 抵抗

常见的紫外线/臭氧应用

• 原子力显微镜探针清洁/尖端研磨
• 半导体表面氧化和制备
• 清洁镜片和光学器件
• 改善表面润湿性
• 清洁石英和陶瓷表面
• 薄膜沉积的准备工作
• 紫外线固化
• 表面图案化
• 臭氧蚀刻

 

 

 

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