辛顿终身工具 WCT-120

WCT-120 仪器利用 QSSPC 和瞬态光电导衰减技术测量晶圆的寿命，测量范围为 10ns 至大于 10ms。QSSPC 技术非常适合监测多晶硅片、掺杂扩散和低寿命样品。瞬态光电导衰减技术非常适合在各种加工步骤中监测高寿命炔样品。

WCT-120 的寿命测量还能得出隐含的开路电压（相对于光照）曲线，该曲线可与太阳能电池工艺各阶段的 I-V 曲线相媲美。

主要应用：

逐步监控和优化制造过程。

其他应用：

-监测初始材料质量

-检测晶片加工过程中的重金属污染

-评估表面钝化和发射器掺杂扩散

-利用隐含 I-V 测量评估工艺诱导的分流

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