辛顿硅表征 BCT-400

描述

BLS-I 和 BCT-400 测量系统可对单晶硅或多晶硅（硅锭或硅砖）进行体寿命测量，无需进行表面钝化处理。由于寿命测量是表征生长和污染缺陷最灵敏的技术之一，因此这些工具可以让您直接评估生长后的硅质量。

要灵活测量所有表面类型（从直径 150 毫米到平面），请选择 BLS-I。若要选择仅用于测量平面的紧凑型工具，请选择 BCT-400。BCT-400 还可以机械方式集成到自动化工作站中，软件设置可实现无缝自动化。

主要应用：

-鉴定寿命在 1-10+ 毫秒范围内的高纯度硅

-无需特殊表面处理即可获得合格的 B-Cz 硅材料

-表征多晶体块的寿命和陷阱密度

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